壓阻式壓力傳感器(溫濕度變送器)在航空、生物醫(yī)學(xué)、爆炸壓力和沖擊波的測(cè)量、真空測(cè)量、監(jiān)測(cè)和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測(cè)量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測(cè)量;在油井壓力測(cè)量、隨鉆測(cè)向和測(cè)位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測(cè)以及流量和液位測(cè)量等方面都有廣泛應(yīng)用。
電阻應(yīng)變片是壓阻式應(yīng)變傳感器的主要組成部分之一。(溫濕度變送器)金屬電阻應(yīng)變片的工作原理是吸附在基體材料上應(yīng)變電阻隨機(jī)械形變而產(chǎn)生阻值變化的現(xiàn)象,俗稱為電阻應(yīng)變效應(yīng)。
其核心部分是一塊沿某晶向切割的N型的圓形硅膜片。在膜片上利用集成電路工藝方法擴(kuò)散上四個(gè)阻值相等的P型電阻。用導(dǎo)線將其構(gòu)成平衡電橋。膜片的四周用圓硅環(huán)(硅杯)固定,其下部是與被測(cè)系統(tǒng)相連的高壓腔,上部一般可與大氣相通。在被測(cè)壓力P作用下,膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變。(溫濕度變送器)設(shè)計(jì)時(shí),要正確地選擇電阻的徑向位置,使,因而使。使四個(gè)電阻接入差動(dòng)電橋,初始狀態(tài)平衡,受力P后,差動(dòng)電橋輸出與P相對(duì)應(yīng)。壓阻式壓力傳感器由于彈性元件與變換元件一體化,尺寸小,其固有頻率很高,可以測(cè)頻率范圍很寬的脈動(dòng)壓力。壓阻式壓力傳感器廣泛用于流體壓力、差壓、液位等的測(cè)量。特別是它的體積小,最小的傳感器可為0.8mm,在生物醫(yī)學(xué)上可以測(cè)量血管內(nèi)壓、顱內(nèi)壓等參數(shù)。
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